Onto Innovation Inc. beschäftigt sich mit dem Design, der Entwicklung, der Herstellung und dem Support von Prozesskontrollinstrumenten, die Makrodefektinspektion und optische 2D/3D-Messtechnik, Lithografiesysteme und analytische Software für die Prozesskontrolle weltweit durchführen. Das Unternehmen bietet Lösungen für das Prozess- und Ertragsmanagement sowie für die Verpackung und Prüfung von Bauelementen durch eigenständige Systeme für die Makrofehlerinspektion, die Verpackungslithografie, die Prüfung und Analyse von Sondenkarten und die Messung von transparenten und undurchsichtigen Dünnschichten sowie ein Softwareportfolio für die Prozesssteuerung, das Lösungen für einzelne Geräte, Gerätegruppen und unternehmens- oder werksweite Suiten umfasst. Das Unternehmen bietet auch Ersatzteile und Software-Lizenzierungsdienste an. Die Produkte des Unternehmens werden von Herstellern von Halbleitern und fortschrittlichen Verpackungsgeräten, Silizium-Wafern, Leuchtdioden, oberflächenemittierenden Lasern mit vertikalem Resonator, mikroelektromechanischen Systemen, CMOS-Bildsensoren, Leistungsgeräten, RF-Filtern, Datenspeichern und verschiedenen industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen eingesetzt. Das Unternehmen war früher unter dem Namen Rudolph Technologies, Inc. bekannt. Onto Innovation Inc. wurde 1940 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Wilmington, Massachusetts.